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1982年G．Binnig与H．Rohrer等根据量子理论的隧道效应，研制出新型的表面分析仪器一扫描遂道显微镜（SanningTunndingMicroscove，STM），其空间分辨力可达到原子级（最高为0．01urn），可以直接观察到表面上单个原子排列状态。这是表面分析技术的重大发明。G．Binnig与H．Rohror因而获得1986年诺贝尔物理奖。但是STM局限于导体与半导体的观测，1986年G．Binnig等两次根据原子间的相互作用力（10－’N）研制出可以用于绝缘体、表面柔软或位体样品的原子力显