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超声波扫描技术在大功率半导体制造工艺中的应用
超声波扫描技术在大功率半导体制造工艺中的应用
来源 :内江科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jayslacker
【摘 要】
:
本文通过介绍超声波扫描技术的工作原理、测试方法,利用实验对大功率器件进行现场C扫描测试分析,来诠释其在大功率半导体器件生产过程中的重要性,有效帮助我们判断器件焊接状
【作 者】
:
赵涛
赵卫
刘航辉
王梦涛
【机 构】
:
西安电力电子技术研究所
【出 处】
:
内江科技
【发表日期】
:
2019年2期
【关键词】
:
扫描技术
大功率半导体
大功率半导体器件
声波检测法
制造工艺
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本文通过介绍超声波扫描技术的工作原理、测试方法,利用实验对大功率器件进行现场C扫描测试分析,来诠释其在大功率半导体器件生产过程中的重要性,有效帮助我们判断器件焊接状况的可靠性,进而保证出厂芯片的合格率。
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