微盘腔半导体激光器阵列热分析

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微腔激光器由于其具有几何图形简单、体积小、阈值低、可动态模操作、易与其他电子元件集成等优势被人们广泛研究。对已实现定向输出的微腔激光器,可通过阵列分布方式有效提高其输出功率。本文通过建立微盘腔半导体激光器散热模型,利用ANSYS有限元分析软件进行稳态工作下的模拟仿真。在微盘腔激光器阵列散热模式探究的基础上,通过改变激光器阵列周期,得到了芯片温度变化规律。结果显示,在阵列周期550 µm时半径为100 µm微腔激光器阵列可以达到较为理想的散热效果。
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