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静电振动法制备核靶
静电振动法制备核靶
来源 :中国原子能科学研究院年报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:QQ2009sunboy
【摘 要】
:
描述了静电振动制靶方法,该法的基本过程是细微粒子的在静电场中作振动并在电极上沉积或膜,用静电振动法已制成了20多种自撑靶和有衬底靶,靶的质量厚度范围为10~1300μg/cm^2,靶的均匀性用α测厚
【作 者】
:
许国基
【机 构】
:
中国原子能科学研究院核物理研究所,102413
【出 处】
:
中国原子能科学研究院年报
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
静电振动
自支撑
均匀性
核靶
薄膜
Electricity vibrationUniformity Selfsupporting
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描述了静电振动制靶方法,该法的基本过程是细微粒子的在静电场中作振动并在电极上沉积或膜,用静电振动法已制成了20多种自撑靶和有衬底靶,靶的质量厚度范围为10~1300μg/cm^2,靶的均匀性用α测厚仪测量,一般好于96%。
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