【摘 要】
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本文从投影光刻机的图形传递要求出发,导出投影光刻机各主要光学系统的具体要求,并讨论这些参数确定的局限性。
In this paper, we start from the requirements of the ima
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所
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本文从投影光刻机的图形传递要求出发,导出投影光刻机各主要光学系统的具体要求,并讨论这些参数确定的局限性。
In this paper, we start from the requirements of the image transfer of the projection lithography machine, derive the specific requirements of the major optical systems of the projection lithography machine, and discuss the limitations of the determination of these parameters.
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