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主要对硅集成传感器的理论设计进行了分析和探讨.
硅集成压力传感器设计
【摘 要】
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主要对硅集成传感器的理论设计进行了分析和探讨.
【机 构】
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湘潭师范学院物理系,湘潭大学物理系
【出 处】
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湘潭师范学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2002年3期
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