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采用阴极真空电弧离子镀技术在玻璃衬底上制备出了具有择优取向的透明ZnO薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及紫外一可见吸收光谱仪分别对ZnO薄膜的结构、表面形貌及可见光透过率进行了分析。XRD结果表明，所制备的ZnO薄膜具有六角纤锌矿结构的（002）和（101）两种取向，在沉积气压〉1．0Pa时所制备的ZnO薄膜具有（002）择优取向，并且非常稳定。SEM图表明，ZnO晶粒大小较为均匀，晶粒尺寸随着气压升高而变小。在400～1000nm范围内，ZnO薄膜的可见光透过率超过80％，吸收边在370nm附近，