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本文报导了一种用于低压薄膜溅射的，带直径为６０ｍｍ靶子的小尺寸平面磁控管。如果在靶子上方安置一个永久磁铁组件，即可改进靶表面附近的等离子体限制，从而维持稳定的放电。试验表明：永久磁铁的极性对等离子体限制起着关键作用。等离子体限制的特征是靠测量溅射放电的点燃压强Ｐｓｔ和熄灭压强Ｐｅｘ而显示出来的。