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为分布式的顺从的机制的结构的拓扑学优化的一个多客观的计划处于 MEMS 状况微致动器在这个工作，机械灵活性和结构的僵硬在是看作客观功能的两个被介绍。这样开发的 Thecompliant 微观机构不能仅仅提供足够的产量工作而且有足够的刚硬抵抗反应力量并且当保持 thework 片时，维持它的形状。过滤途径的密度也被建议绞链在产生 mechanisms.SIMP 发生消除象棋盘，连接的网孔相关性和一个节点那样的数字不稳定性被用作插值计划显示材料模量的依赖调整 onelement 的密度。顺序的凸的编程方法例如