【摘 要】
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本文简要介绍了一种新的薄膜淀积和外延技术——离化团束淀积和外延。文中,概述了离化团束的工作原理、特点及设备情况,介绍了用该技术生成的薄膜的性质及其在微电子学、光学
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本文简要介绍了一种新的薄膜淀积和外延技术——离化团束淀积和外延。文中,概述了离化团束的工作原理、特点及设备情况,介绍了用该技术生成的薄膜的性质及其在微电子学、光学、信息存储等主要范围的应用前景。
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