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利用ATMEL公司的高速嵌入式单片机实现MEMS加速度计性能指标的自动测试,对系统中的模拟地与数字地分离、正负电压上电时间控制、温度信息采集、串口通讯协议等细节作了详细分析.结果表明,这是一个低价而可靠的微加速度计自动测试解决方案.
利用单片机实现微加速度计性能自动测试
【摘 要】
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利用ATMEL公司的高速嵌入式单片机实现MEMS加速度计性能指标的自动测试,对系统中的模拟地与数字地分离、正负电压上电时间控制、温度信息采集、串口通讯协议等细节作了详细分
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2005年7期
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