【摘 要】
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在微电子结构中常见的二维衍射光栅的分析中,严格耦合波分析法（Rigorous Coupled Wave Analysis,RCWA）方法计算耗时,占用内存比较大.本文将微扰法与RCWA相结合的算法应用于二维
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在微电子结构中常见的二维衍射光栅的分析中,严格耦合波分析法（Rigorous Coupled Wave Analysis,RCWA）方法计算耗时,占用内存比较大.本文将微扰法与RCWA相结合的算法应用于二维衍射光栅分析中,以提高其计算效率.求解非矩形光栅问题时,需将光栅做阶梯近似.通过RCWA求解参考层的本征值,其余层的本征值可通过微扰法得到.实验表明,微扰法满足计算精度要求,且计算效率也能得到提高.对于本文中的例子,当光栅的截断阶数选为12时,计算时间可以节省45%.
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