多层膜反射镜的计算机辅助设计

来源 :哈尔滨理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chengbf0917

【摘要】

：

针对软X射线波段多层膜反射镜设计中干涉矩阵的计算误差问题,提出了采用切比雪夫多项式的理论对干涉矩阵进行了分析与计算的方法.并使用该方法对软X射线中波长为13.4 nm和11.

【作者】

：

喻华

【机构】

：

辽宁师范大学计算机系

【出处】

：

哈尔滨理工大学学报

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

：

多层膜反射镜计算机辅助设计干涉矩阵计算误差切比雪夫多项式光学导纳反射率 multiplayer multinomial optical guide

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针对软X射线波段多层膜反射镜设计中干涉矩阵的计算误差问题,提出了采用切比雪夫多项式的理论对干涉矩阵进行了分析与计算的方法.并使用该方法对软X射线中波长为13.4 nm和11.2nm多层膜反射镜进行了设计,得到了准确的设计结果.结果表明,这种方法可以解决使用矩阵法设计软X射线多层膜反射镜中的数值计算问题.

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