离子束注入对聚四氟乙烯表面改性研究

来源 :第十二届全国原子与分子物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：glggg

【摘要】

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在剂量为1×10~1×10ions/cm的范围内,用能量为160keV氮离子对PTEE表面进行注入处理,处理后的样品用可见(514.5nm)和傅立叶红外(1064nm)喇曼(Raman)光谱以及扫描电镜进行检测

【作者】

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满宝元吕国华张运海刘爱华张庆刚

【机构】

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山东师范大学物理与电子科学学院(济南)

【出处】

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第十二届全国原子与分子物理学术会议

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

离子注入聚四氟乙烯表面改性

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在剂量为1×10<14>~1×10<17>ions/cm<2>的范围内,用能量为160keV氮离子对PTEE表面进行注入处理,处理后的样品用可见(514.5nm)和傅立叶红外(1064nm)喇曼(Raman)光谱以及扫描电镜进行检测.结果表明低剂量注入可导致弱C-C键的断裂,中等剂量时溅射损失效应明显,高剂量注入时微观结构强烈地变化并生成C=C双键.

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