一种阴极敷膜用高致密细晶靶材及其制备方法

来源 :有色金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yizeswing
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<正>专利申请号:2016108652638公布号:CN108034924A申请日:2017.11.29公开日:2018.05.15申请人:北京有色金属研究总院本发明涉及一种高致密细晶靶材及其制备方法。该靶材成分为锇或锇合金,通过化学蒸馏提纯粗锇,利用喷雾干燥及多段氢还原制备高纯、超细、等轴状锇粉或锇合金粉末,有助于获得均匀相结构和细晶。采用SPS联合HIP烧结技术,利用SPS快速烧结特点,在较短时间内获得相对较高致密度靶材,有效控制烧结坯晶粒长大并大大缩短后续
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