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对一种电磁式微腔体混合器的设计、制作及实验进行了研究。从提高其混合性能出发，对混合器进行了动力学分析，得出了适于快速混合的振动模式。结果表明，混合效果是由驱动频率及振幅共同决定的。利用模压工艺制作出适于光学探测的聚二甲基硅氧烷（PDMS）混合器。利用DE—LIGA工艺制作出的平面线圈，具有结构紧凑，不易脱落等优点。设计的微混合芯片由PDMS混合器、永磁体、光学透镜、平面线圈、微型光谱仪等混合集成，并对振动膜厚度为50pm的φ6mm混合器进行定量检测，当混合量为150μL时，动态混合能在5s内完成。