超精密加工技术浅析

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精密和超精密加工技术、制造自动化是先进制造技术的两大领域,而精密和超精密加工技术是先进制造技术中最具有实质性的重要组成部分,它是先进制造技术的基础与关键,是衡量一个国家工业水平及科学技术水平的重要标志之一.超精密加工技术的发展促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展.
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