【摘 要】
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利用射频（RF）磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂（LiPON）薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,L
【机 构】
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复旦大学化学系激光化学研究所,西北核技术研究所
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利用射频（RF）磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂（LiPON）薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生明显的水解反应,使LiPON薄膜表面形貌变得疏松、局部突起;PH3和NH3的产生,使薄膜中磷元素和氮元素含量减少,而Li2CO3的生成,则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增加.LiPON电解质薄膜形貌和组成的变化,造成了薄膜电化学性能的严重恶化.
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