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利用光学显微镜和Ｘ射线衍射技术，分析了非晶态Ｓｅ和掺杂Ｓｂ的Ｓｅ薄膜的晶化特性。Ｓｅ薄膜由于保存周期不同以及Ｓｂ掺杂到Ｓｅ中的Ｓｂ含量的多少都会影响Ｓｅ的晶化特性；在热处理下薄膜的晶化呈现各向异性的择优生长。分析了晶化过程中微裂纹的产生，晶界的产生和体积收缩。薄膜与衬底之间的热应力是产生微裂纹的主要因素。