【摘 要】
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用分子动力学模拟和第一性原理计算分析方法，研究电场对含空位缺陷硅结构的影响。分子动力学结果表明，硅（100）晶面处的空位数量，总体随着电场强度的增强而增加。当电场在 8.90×10
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61076102；61272105)；江苏省自然科学基金项目(BK2012614)；江苏省高校自然科学研究面上项目 (15KJB510027)；江苏省自然科学青年基金项目(BK20170346)
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用分子动力学模拟和第一性原理计算分析方法，研究电场对含空位缺陷硅结构的影响。分子动力学结果表明，硅（100）晶面处的空位数量，总体随着电场强度的增强而增加。当电场在 8.90×106 V/cm 和 1.35×107 V/cm之间时，空位数达到最大饱和数值 10，并保持稳定。第一性原理计算结果表明，能带结构中的缺陷能级等效于降低价带和导带之间的带隙值，导致空位结构中隧穿电流变大。此外，缺陷能级也会导致空位结构中的静态介电常数变大，从而引起电容-电压特性值变大。
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