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介绍了金属有机气相沉积（MOCVD）制备Mo2C功能膜的过程和对膜表面粗糙度的测量结果；在测量基础上进行统计，找出Mo2C膜表面高度和高差分布规律；将DT2模型推广，进行2+1维计算机模拟，作出Mo2C膜表面3维模拟图·结果表明：实验测得的高度和高差统计分布与计算机模拟的结果一致。
Mo2C膜表面高度和高差分布规律研究
【摘 要】
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介绍了金属有机气相沉积（MOCVD）制备Mo2C功能膜的过程和对膜表面粗糙度的测量结果；在测量基础上进行统计，找出Mo2C膜表面高度和高差分布规律；将DT2模型推广，进行2+1维计算机模拟，作
【机 构】
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郑瑞伦,冉扬强,平荣刚,Zheng Ruilun,Ran Yangqiang,Ping Ronggang(西南师范大学物理系 重庆 400715)李声泽李声泽李声泽李声泽,Li Shengze(西南师
【出 处】
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化学物理学报
【发表日期】
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2004年期
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