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文章介绍一种简便的微小盲孔深度测量方法.在普通的测量粗糙度的仪器一光切显微镜上,利用光切原理测量0.8～80微米的微小盲孔深度,该方法简便、测量精度较高.
盲孔深度测量方法
【摘 要】
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文章介绍一种简便的微小盲孔深度测量方法.在普通的测量粗糙度的仪器一光切显微镜上,利用光切原理测量0.8～80微米的微小盲孔深度,该方法简便、测量精度较高.
【机 构】
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中国计量学院计量技术工程学院
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2001年6期
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