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在光伏及微电子等半导体制程中,高纯液态源广泛应用于氧化扩散、CVD等工艺.本文简要介绍了半导体制程中高纯液态源输送系统的技术结构,并提出了应用中需严格遵循的操作规程和注意事项,以避免安全和质量隐患.
高纯液态源输送系统应用规程探究
【摘 要】
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在光伏及微电子等半导体制程中,高纯液态源广泛应用于氧化扩散、CVD等工艺.本文简要介绍了半导体制程中高纯液态源输送系统的技术结构,并提出了应用中需严格遵循的操作规程和
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四所,重庆,400060
【出 处】
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数字通信世界
【发表日期】
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2015年7期
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