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就压阻型压力传感器的灵敏度温漂问题进行述评，分析了灵敏度温漂产生的原因并提出解决灵敏度温漂的多种补偿方法。
压阻型压力传感器灵敏度温漂及其补偿技术
【摘 要】
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就压阻型压力传感器的灵敏度温漂问题进行述评，分析了灵敏度温漂产生的原因并提出解决灵敏度温漂的多种补偿方法。
【机 构】
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河北工业大学电子工程系
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1998年01期
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