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介绍了生物芯片、激光共聚焦生物芯片扫描仪的概念以及高精度快速扫描台的意义,主要介绍对扫描台的运动进行闭环控制的原理和以DSP作为处理器实现这一控制系统的软硬件设计结果.
激光共聚焦生物芯片扫描仪XY扫描台控制系统设计
【摘 要】
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介绍了生物芯片、激光共聚焦生物芯片扫描仪的概念以及高精度快速扫描台的意义,主要介绍对扫描台的运动进行闭环控制的原理和以DSP作为处理器实现这一控制系统的软硬件设计结
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年1期
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