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介绍了改良西门子法多晶硅生产工艺。利用Aspen Plus对改良西门子法中的热氢化反应进行模拟,研究了反应温度、反应压力和进料配比对三氯氢硅收率的影响,得出进料配比是影响三氯氢硅收率最重要的因素,并运用正交设计的方法找出最优工艺参数,从而指导实际生产。
改良西门子法热氢化反应模拟及工艺参数优化
【摘 要】
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介绍了改良西门子法多晶硅生产工艺。利用Aspen Plus对改良西门子法中的热氢化反应进行模拟,研究了反应温度、反应压力和进料配比对三氯氢硅收率的影响,得出进料配比是影响三
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司,昆明理工大学冶金与能源工程学院
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2013年06期
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