Design and Experiment of Vertical Motion Dual-stage with Piezo-actuated Nanopositioning Stage

来源 :Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astron | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangzhuo2009ny

【摘要】

：

Nanopositioning stage based on piezoelectric(PZT)actuators and flexure mechanisms has been widely used in dual-stage.Its favorable positioning accuracy and dyna

【作者】

：

任佳琦朱晓博陈国真刘品宽

【机构】

：

StateKeyLaboratoryofMechanicalSystemandVibration

【出处】

：

Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astron

【发表日期】

：

2015年2期

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Nanopositioning stage based on piezoelectric(PZT)actuators and flexure mechanisms has been widely used in dual-stage.Its favorable positioning accuracy and dynamic response can guarantee the high performance of the dual-stage.Here the vertical axis motion

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