【摘 要】
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由于PZT驱动器及PZT驱动微动平台具有位移精度高、响应速度快、功耗低、可小型化等优点,在微纳米定位领域得到了广泛的应用。但其本身固有存在的迟滞/蠕变等非线性特性,给微
【基金项目】
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滨州学院科研基金项目(2020Y32,BZXYLG2007)
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由于PZT驱动器及PZT驱动微动平台具有位移精度高、响应速度快、功耗低、可小型化等优点,在微纳米定位领域得到了广泛的应用。但其本身固有存在的迟滞/蠕变等非线性特性,给微操作机器人精密定位控制带来了极大挑战。传统控制策略不能有效消除非线性影响,而基于模型补偿控制方法更为有效,但是各种建模方法存在不足。通过分析PZT的迟滞非线性特性、蠕变非线性特性的各种建模方法,并讨论导致各种建模方法建模精度不高的原因,为PZT基于模型控制策略的选择及建模方法的发展提供参考依据。
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