【摘 要】
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目前多晶硅需求量日益增大。多晶硅生产过程中对设备及工艺管线的洁净度要求极其严格,尤其是油分子和重金属离子,太阳能级的多晶硅纯度要求为99.9999%（俗称6个9）以上,电子级更
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目前多晶硅需求量日益增大。多晶硅生产过程中对设备及工艺管线的洁净度要求极其严格,尤其是油分子和重金属离子,太阳能级的多晶硅纯度要求为99.9999%（俗称6个9）以上,电子级更是达到99.999999999%（俗称11个9）,因此对工艺管道系统的设备、管道、管件、阀门等清洁度的保障是安装工程质量的关键,施工的每个阶段都必须保持管道及设备的洁净。
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