论文部分内容阅读
快速测灰系统的扫描机构由三个平台构成。即下层大平台、中层平台和上层小平台。中层平台和上层小平台合称为运动平台。 下层大平台装有一个单相低速电机，由它带动长螺杆上的螺母移动从而牵动固定在螺母上的中层平台作x方向平移。在下层平台上还有四个反射式光耦，作为中层平台的定位开关，它们依次为：等待、关闭、开始测量、结束测量。中层平台上也装有一个单相低速电机来牵动上层小平台作y方向移动。其上也装有三个反射式光耦，作为上层小平台的定位开关，它们依次为：正向极限位置，中间位置，反向极限位置。上层平台在中层平台之上，中间有一