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采用Ansoft HFSS三维电磁场仿真软件，在三维空间对大面积梯形电极VHF—PECVD反应室的电磁场分布进行模拟，模拟结果与文献报道的实验结果及理论计算结果具有很好的吻合，这验证了HFSS软件模拟大面积VHF—PECVD反应室电磁场分布的可靠性。
大面积梯形电极VHF—PECVD反应室电磁场三维数值模拟
【摘 要】
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采用Ansoft HFSS三维电磁场仿真软件，在三维空间对大面积梯形电极VHF—PECVD反应室的电磁场分布进行模拟，模拟结果与文献报道的实验结果及理论计算结果具有很好的吻合，这验证了H
【机 构】
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天津市新华职工大学
【出 处】
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天津职业院校联合学报
【发表日期】
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2010年5期
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