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全固态薄膜锂离子电池是锂离子电池的最新研究领域，其能量密度高、厚度薄、循环寿命长、可靠度高。薄膜化的负极材料是锂离子电池的重要组成部分，负极薄膜材料制备方法的研究取得了较大的进展，未来研究重点是低成本、低能耗、高综合电化学性能的负极薄膜材料以及可批量生产的薄膜制备技术。对薄膜化的硅负极材料、金属或合金薄膜材料、氧化物薄膜材料和复合薄膜材料近几年来的研究状况进行了综述，并对其发展前景进行了展望。