Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银

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Nd:YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3薄膜, 薄膜热分解产生的Ag沉积在 Si基底表面形成沉积线. 在激光功率为2.8 W, 频率为35 Hz时,最高扫描速度为9 mm/s.SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面,AES研究沉积线表面元素随深度分布情况.以Ag颗粒为催化中心,在沉积线表面选区化学镀铜,超声振动显示镀铜膜与基底有良好的结合力. 简单分析了沉积线表面Ag颗粒形状及表面凹坑出现的原因.
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