【摘 要】
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<正> 近几年来传感器在物理、化学、电子学、生物学、医学及地质等许多领域应用越来越广。半导体气体传感器在环境保护、气体泄漏、初期火灾报警、引擎燃料控制等方面受到人
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<正> 近几年来传感器在物理、化学、电子学、生物学、医学及地质等许多领域应用越来越广。半导体气体传感器在环境保护、气体泄漏、初期火灾报警、引擎燃料控制等方面受到人们极大的注目。现有气体传感器主要有三种类型:接触式气体燃烧传感器,热敏电阻式气体传感器和氧化物半导体气体传感器。几种半导体气体传感器这类传感器的工作原理是吸附可燃性(或还原性)气体时,半导体传感器的电阻发生变化,而这些气体脱附时电阻又恢复到原来的数值。1962年日本学者清山哲郎就提
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