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为了改善加热直流电压极化以及等幅脉冲电压极化两种极化方法的不足,提出了渐增式脉冲极化方法.阐述了该方法的原理并组建了系统,整个系统由计算机、数模转换卡、功率放大器和极化探针台等组成.详细介绍了脉冲宽度和幅值的控制方法,解决了Windows系统下窄脉冲的精确定时问题.制备了PT薄膜样品,并在系统上进行了样品极化实验.结果表明,该方法的极化效率在与等幅式脉冲极化持平时,可将样品击穿率降低20%.