【摘 要】
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本文介绍了光学积分器的一般结构和工作原理,并阐述了提高其均匀化效果的有关问题。文中结合实例,分析了光学积分器投影镜组的离焦效果,并提出了最佳离焦量的经验公式。
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本文介绍了光学积分器的一般结构和工作原理,并阐述了提高其均匀化效果的有关问题。文中结合实例,分析了光学积分器投影镜组的离焦效果,并提出了最佳离焦量的经验公式。
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