【摘 要】
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为实现使用Hartmann-Shack(哈特曼-夏克)波前传感器对高分辨率物镜进行高精度检测,提出了使用二维插值多项式替代泽尼克(Zernike)多项式为重构基底对被测波前进行模式重构的
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院大学,
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为实现使用Hartmann-Shack(哈特曼-夏克)波前传感器对高分辨率物镜进行高精度检测,提出了使用二维插值多项式替代泽尼克(Zernike)多项式为重构基底对被测波前进行模式重构的方法。为了验证方法的可行性,仿真高分辨率物镜设计波像差为待测波前,得到重构误差均方根(RMS)值为0.0609λ。模拟理想球面波为待测波前,重构精度随拟合阶数增加稳定变化。经过重构正弦波前、余弦波前、非球面波前以及含有低阶球差、彗差、象散、场曲和畸变等像差的一般波前,进一步对比了Zernike多项式和二维插值多项式为基底的重构精度,得到了一种较Zernike多项式拟合精度更高更稳定的模式重构基底。
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