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设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构，建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型，并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。
接触式电容微加速度传感器的设计与分析
【摘 要】
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设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构，建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型，并给出了接触半径的计算公式
【机 构】
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重庆理工大学机械工程学院,西南大学工程技术学院
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2014年2期
【基金项目】
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重庆理工大学启动基金项目
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