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给出了一种结构简单、易于微型化的新型压电微电机,研究了其致动机理.利用压电学和振动学理论分析了定子各部分及系统的振动位移微分方程;借助于弹性力学和振动分析理论,在分析新型压电微电机的基础上,建立了压电微电机运动学和动力学模型.该模型可用于压电微电机运动过程实验和压电微电机的优化设计中.
微机械中新型压电微电机致动机理分析
【摘 要】
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给出了一种结构简单、易于微型化的新型压电微电机,研究了其致动机理.利用压电学和振动学理论分析了定子各部分及系统的振动位移微分方程;借助于弹性力学和振动分析理论,在分
【机 构】
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上海交通大学,机械工程学院,上海,200030中国科学院长春光学精密机械研究所,长春,130022;
【出 处】
：
上海交通大学学报
【发表日期】
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1999年4期
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