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通过对共焦三维形貌检测术的分析，根据超分辨理论，在共焦系统中加入环形光瞳滤波器，以期延长系统的动态检测范围，并提高系统的横向分辨率。理论和实验结果表明该方法在适当牺牲轴向分辨率的条件下，能有效地延长系统的动态检测范围，且提高其横向分辨率。
超分辨在共焦三维形貌检测术中的应用
【摘 要】
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通过对共焦三维形貌检测术的分析，根据超分辨理论，在共焦系统中加入环形光瞳滤波器，以期延长系统的动态检测范围，并提高系统的横向分辨率。理论和实验结果表明该方法在适当牺牲轴
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2001年7期
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