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用CH4和H2为反应气体,在热丝化学气相沉积系统中用不同的沉积条件直接在Si衬底上制备了纳米金刚石,并用高分辨扫描电子显微镜和显微Raman光谱仪对它们进行了表征.结果表明,在热丝化学气相沉积系统中用连续辉光放电在Si衬底上沉积的金刚石是纳米金刚石颗粒;而用辉光放电在Si衬底上先进行金刚石核化,然后再用热丝化学气相沉积生长,可形成纳米金刚石膜.不同结构纳米金刚石的形成主要是由于在不同的沉积条件下非金刚石相被刻蚀的程度不同以及形成金刚石前驱物的运动不同所致.