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半导体工艺根据产品采用不同的工艺路线,分析小规模特殊器件的工艺路线.根据产品器件需求配置相应的设备,满足生产适用性、技术先进性和经济合理性原.
基于半导体的工艺线设备配置及选型技术
【摘 要】
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半导体工艺根据产品采用不同的工艺路线,分析小规模特殊器件的工艺路线.根据产品器件需求配置相应的设备,满足生产适用性、技术先进性和经济合理性原.
【机 构】
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重庆声光电有限公司
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2018年9期
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