论文部分内容阅读
提出了一种自动测量光栅栅距修正累积误差的方法。栅距测量是基于高阶累积量估计光栅传感器输出的两路莫尔条纹信号的时间延迟而得到的，该方法能够实现每个栅距的测量，通过对每个光栅栅距的误差进行修正来减少累积误差，为大量程高精度测量奠定了基础。实验采用长为500mm的50线／mm的光栅传感器，该传感器包含栅线25000条，实现栅距测量分辨力为3nm，达到了纳米级测量。该方法抗干扰能力强，适合在生产现场应用。