【摘 要】
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为了研究反应温度、粒径等氮化参数对氮化硅转化率的影响,使用三种不同粒径的硅粉颗粒在热重同步分析仪（TG）中进行了实验研究,并对反应产物进行了X射线衍射（XRD）分析,得到了氮化
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50676084）
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为了研究反应温度、粒径等氮化参数对氮化硅转化率的影响,使用三种不同粒径的硅粉颗粒在热重同步分析仪（TG）中进行了实验研究,并对反应产物进行了X射线衍射（XRD）分析,得到了氮化硅转化率随时间变化曲线。研究结果表明,硅、氮会在1000~1100℃开始发生反应,随后进入动力学控制阶段,该阶段持续5~10 m in,反应速率很快,最后进入反应速度较慢的扩散控制阶段。结果还表明,较小粒径原料和较高的温度对氮化硅转化率有积极影响,而硅粉原料表面的氧化层对硅氮反应有阻碍作用。粒径2.5μm的硅粉在1350℃时,其α相
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