钴合金表面多层碳薄膜的制备及其性能研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangke8611
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为了改善人工关节的生物摩擦学性能,采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在Co-Cr-Mo合金基体表面制备了多层C/C膜。采用拉曼光谱对薄膜的结构进行了表征;利用原子力显微镜观察了多层C/C膜的表面形貌;采用CSEM纳米硬度计测试了多层膜的纳米硬度;在销盘式摩擦磨损试验机上考察了多层膜的生物摩擦学性能。结果表明:多层C/C膜为典型的类金刚石结构,其表面光滑致密,硬度高达52 GPa,它与SiC球在磷酸盐缓冲溶液中的稳定摩擦系数仅为0.012,明显提高了人工关节用材料钴合金的生物摩擦学性能。 In order to improve the bio-tribological properties of artificial joints, a multi-layer C / C film was prepared on the surface of Co-Cr-Mo alloy substrate by DC magnetic vacuum deposition. The structure of the films was characterized by Raman spectroscopy. The surface morphology of multilayer C / C films was observed by atomic force microscopy. The nano-hardness of multilayer films was tested by CSEM nano-hardness tester. The biological tribological properties of multilayer films were investigated. The results show that the multi-layer C / C film is a typical diamond-like structure with a smooth and dense surface and a hardness of 52 GPa. The friction coefficient between the multi-layer C / C film and the SiC ball in phosphate buffer solution is only 0.012, Biological tribological properties of cobalt alloy.
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