【摘 要】
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设计一种基于高速柔性薄膜电子的温度传感器,指出未来柔性薄膜电子研究的趋势和重点.选取柔性薄膜铂电阻作为前端敏感元件,设计实现了一种与之相匹配的后端转换集成电路.基于
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设计一种基于高速柔性薄膜电子的温度传感器,指出未来柔性薄膜电子研究的趋势和重点.选取柔性薄膜铂电阻作为前端敏感元件,设计实现了一种与之相匹配的后端转换集成电路.基于SMIC 0.18μm CMOS工艺库的仿真结果表明,转换电路增益39.8dB,共模抑制比大于85dB;温度传感器能够完成测温的功能且线性度良好,可测量-50℃ ～ 90℃范围内的温度,灵敏度4.8mV/℃,精度0.12％,在1.8V电源电压下,功耗仅为2.04mw.
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