高精度大口径球面干涉仪光学系统的设计探讨

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试图自行设计制造价格低廉,实用性强的大口径球面干涉仪,并可推广应用于大部分科研生产单位,解决大尺寸光学零件加工中的面型测试问题。通过对平面干涉仪的各种型式的比较和选择,达到精确测量高精度大口径光学元件的目的。采用反射式平行光管式的卧式斐索干涉仪,标准镜采用非球面消色差,光学元件少,结构简单。采用共路干涉降低了外界干扰对测量的影响,同时共光路干涉也可降低干涉仪各光学元件加工面形精度的要求。
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