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<正>5.电子束和离子束加工微细电子束和离子束加工是近十年来得到较大发展的新兴特种微细加工。它们在精密微细加工方面,尤其是在微电子学领域得到较多的应用。近期发展起来的亚微米加工和纳米加工技术,主要是用电子束和离子束微细加工。
基于微细特种加工的微细制造技术(下)
【摘 要】
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<正>5.电子束和离子束加工微细电子束和离子束加工是近十年来得到较大发展的新兴特种微细加工。它们在精密微细加工方面,尤其是在微电子学领域得到较多的应用。近期发展起来
【机 构】
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原中国航空精密机械研究所
【出 处】
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金属加工(冷加工)
【发表日期】
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2011年14期
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