PZT悬臂梁结构的优化设计

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hz198119
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推导了单层锆钛酸铅悬臂梁伸缩振动时振幅的表达式,得出振幅与电势差ΔV成正比,与长厚比L/d成正比,与宽度w无关.分类分析了锆钛酸铅悬臂梁弯曲振动的各种模式,通过有限元分析软件ANSYS仿真得出:在相同几何尺寸、相同电压的情况下,"异P同E"的振幅是"异E同P"的振幅的一半,两者的振幅与电势差ΔV成正比,与长厚比(L/d)成平方关系,与宽度w无关.对于"同P同E"得出上下两层锆钛酸铅的电场差异越大,振幅越大.此分析方法和结论可用于锆钛酸铅悬臂梁结构
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