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阐述了在氮化镓生长中使用的蓝宝石晶片净化的重要性.论述了蓝宝石晶片的净化原理.通过净化试验研究,提出了适合于工业化生产的蓝宝石晶片清洗剂和净化工艺,满足了光电子领域所需的开盒即用的蓝宝石晶片表面质量要求.
蓝宝石晶片表面净化技术研究
【摘 要】
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阐述了在氮化镓生长中使用的蓝宝石晶片净化的重要性.论述了蓝宝石晶片的净化原理.通过净化试验研究,提出了适合于工业化生产的蓝宝石晶片清洗剂和净化工艺,满足了光电子领域
【机 构】
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盐城工学院机械工程学院,中国科学院上海光学精密机械研究所,兴化祥盛光电子材料公司
【出 处】
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电子机械工程
【发表日期】
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2005年6期
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